Highlights der NXT Messsysteme:

• Verbesserung der Prozessstabilität, Qualität und Produktionseffizienz

• Hohe Messstabilität in Bezug auf Höhen- und Tilt-Variation der Probe

• Kompensation der Oberflächenrauheit

• Geeignet für alle Schichttypen (dielektrisch, organisch, anorganisch, metallisch und transparent leitfähig)

• Hohe Empfindlichkeit gegenüber geringen Schichtdickenabweichungen

• Schnelle und zerstörungsfreie Messungen

• Einzigartiges Oszillatormodell für Offline Systeme: Optische Modellierung zur Auswertung des spektralen n&k der Beschichtungsmaterialien

Das Xelas SCAN RT-VIS ist ein spektrales Reflexions- und Transmissionsmesssystem für die hochpräzise Dünnschichtkontrolle. Es ermöglicht die Messung der Dicke von Einzel und Mehrfachschichten sowie die optische Modellierung zur n&k-Bestimmung von Beschichtungsmaterialien. Der motorisierte Messtisch ermöglicht x-y-Mapping und Einzelpunktmessungen.